产生结构色的纳米加工系统.pdfVIP

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  • 2023-08-07 发布于四川
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本申请涉及一种产生结构色的纳米加工系统,该系统包括:激光器光源(10)、衰减装置(20)、反射镜(30)、透反棱镜(40)、聚焦透镜(50)、CCD相机(60)、计算机设备(70)、物镜(80)、采用MIM叠层薄膜结构的加工样品(90)、三维位移平台(100)和外部白光光源(110);激光器光源(10)产生激光束,先经过衰减装置(20),依次经反射镜(30)、透反棱镜(40)和物镜(80)聚焦到加工样品(90)的表面,形成等离子体阵列微结构,外部白光光源(110)照射在加工样品(90)表面并产生

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210024165 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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