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本实用新型公开了一种拉膜装置，包括贴膜机构、用于为贴膜机构输送干膜的送膜机构、用于切膜的切膜机构、以及用于拉动干膜移动的拉膜机构；拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、升降驱动件、以及设于升降驱动件的输出端且与拉膜导辊相配合的拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜机构，贴膜机构将干膜与晶圆等产品贴合完成贴膜，然后拉膜机构将贴覆有晶圆的干膜拉动至切膜机构，切膜机构沿着晶圆等产品的边缘将干膜切割，使得晶圆等产品与干膜主体分离，由于干膜与晶圆贴合的部分被切除，因此干膜部分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210028097 U
(45)授权公告日
2020.02.07
(21)申请号 20192
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