纳米压痕技术综述.docxVIP

纳米压痕技术及其应用 傅杰 摘要：纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术，是最简单的测试材料力学性质的方法之一，在 材料科学的各个领域都得到了广泛的应用，本文主要针对纳米压痕技术及其应用做一个简单概述。 关键字：纳米压痕技术，应用 一、 引言 传统的压痕测量是将一特定形状和尺寸的压头在一垂直压力下将其压入试样，当压力撤除后。 通过测量压痕的断截面面积，人们可以得到被测材料的硬度这种测量方法的缺点之一是仅仅能够得 到材料的塑性性质。另外一个缺点就是这种测量方法只能适用于较大尺寸的试样。 新兴纳米压痕方法是通过计算机控制载荷连续变化,在线监测压深量，由于施加的是超低载荷, 加上监测传感器具有优于1 nm的位移分辨率，所以，可以获得小到纳米级的压深，它特别适用于测 量薄膜、镀层、微机电系统中的材料等微小体积材料力学性能可以在纳米尺度上测量材料的各种力 学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等fi］。 二、 纳米压痕技术概述 纳米硬度计主要由轴向移动线圈、加载单元、金刚石压头和控制单元等四部分组成。压头材料 一般为金刚石，常用的有伯克维奇压头(Berkovich)和维氏(Vicker)压头。压入载荷的测量和控制是通 过应变仪来实现，整个压入过程由计算机自动控制，可在线测量载荷与相应的位移，并建立两者之 间的相应关系(即P-h曲线)。在纳米压痕的应用中，