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本发明公开了一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器，属于激光器技术领域。利用1064nm基频脉冲激光器经过三倍频获得355nm激光脉冲，将该355nm激光脉冲作为光学参量振荡器的泵浦光，获得472nm信号激光输出，再通过倍频获得236nm深紫外激光脉冲，将该236nm深紫外脉冲与经过延时后的1064nm基频激光脉冲进行和频，最终得到193nm真空紫外激光脉冲输出。本发明具有结构紧凑、高峰值功率、重复频率可扩展的特点，得到的193nm真空紫外激光可作为精密激光加工、光纤光栅制备、半导体集成电路
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116565681 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310373042.9
(22)申请日 2023.04.10
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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