原创力文档- 5
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- 2023-08-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具，包括测试底板、中间板和上层盖板；所述测试底板设有安装通孔，安装通孔内设有双头弹簧测试探针针头，探针一头凸出于测试底板上表面，探针另一头凸出于测试底板下表面；所述中间板设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿中间板厚度方向的容纳腔，所有测试底板上表面的测试探针针头位于容纳腔范围内，中间板的厚度小于待测MEMS惯性传感器的厚度；测试底板、中间板和上层盖板三者叠合放置并采用至少两个螺钉连接。本实用新型结构简单，安装方便，能够调控对ME
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210036750 U
(45)授权公告日
2020.02.07
(21)申请号 20192
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