一种半导体芯片加工用的自动摇盘取放料机构.pdfVIP

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2023-08-09 发布于四川
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一种半导体芯片加工用的自动摇盘取放料机构.pdf

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本发明属于半导体芯片加工领域，尤其是一种半导体芯片加工用的自动摇盘取放料机构，针对现有的半导体设备芯片都置于蓝膜上，如果要提高速度就需要多加对应的机构，这种方式占用空间较大，成本较高，不能实现设备小型化的问题，现提出如下方案，其包括平台组件，所述平台组件连接有摇盘组件，平台组件包括下轴动定子，下轴动定子上连接有下轴导轨，下轴动定子上连接有磁栅条和第一磁栅尺，下轴动定子上连接有第一感应器片，下轴动定子上连接有下轴滑板，下轴滑板上连接有X方向座，X方向座上连接有上轴导轨，本发明能够在使用过程中，占用

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116564865 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310766757.0 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人深圳市骜行智能装备有限公司地址