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一种晶圆密封圈.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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一种晶圆密封圈.pdf

    本实用新型提供一种晶圆密封圈，用于与晶圆表面边部形成密封，包括环形密封基体和环形电极片，所述环形电极片嵌于所述环形密封基体内，所述环形密封基体的密封面上设有多个向外凸出的凸起。本实用新型相较于现有技术，凸起受压后内缩变形，晶圆与密封面之间形成有效密封；在晶圆所受压紧力解除后，凸起依靠自身的弹性力恢复原有形状，并将晶圆从环形密封基体的密封面上顶起，晶圆不再受到密封面的粘附力，极大地方便了晶圆取出，实现晶圆的稳定可靠移载。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210040160 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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