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本申请提供了一种LDMOS终端结构及LDMOS终端结构的制作方法,该LDMOS终端结构包括基底以及第一场板,其中,基底包括衬底、外延层、体区以及漂移区,外延层位于衬底的表面上,体区与漂移区均位于外延层中,体区位于漂移区的一侧;第一场板位于基底的一侧,第一场板包括沿着第一方向接触设置的第一子场板以及第二子场板,第一子场板在基底上的投影覆盖部分体区以及部分漂移区,第二子场板在基底上的投影覆盖部分体区以及部分外延层,第一子场板在第二方向上的长度大于第二子场板在第二方向上的长度。通过第一场板优化元胞区与
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116565022 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310530175.2
(22)申请日 2023.05.11
(71)申请人 苏州华太电子技术股份有限公司
地址
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