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用于承载硅片的石墨框.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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用于承载硅片的石墨框.pdf

    本实用新型公开了一种用于承载硅片的石墨框，适用于板式PECVD，包括矩形网格，所述网格的四边分别设有用于支承硅片的挂钩；所述网格中还设有隔条；所述隔条的两端与网格的一对对边分别连接，且隔条的两侧都连接有用于支承硅片的挂钩。现有石墨框的网格只能承载整片，即与网格大小相当的矩形硅片；本实用新型在网格中设置隔条，隔条可对网格进行分隔，且隔条的两侧都连接有挂钩，使网格可承载上述整片的分片。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210040159 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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