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本申请提出了一种擦拭装置、擦拭设备及擦拭方法,所述擦拭装置包括基座、第一擦拭头、检测器及调整机构,第一擦拭头用于抵压并擦拭所述工件;检测器与所述第一擦拭头连接,用于检测所述第一擦拭头抵压所述工件的力;调整机构设于所述基座,且连接所述检测器,用于驱动所述检测器移动以调整所述第一擦拭头抵压所述工件的力;其中所述力包括压力和摩擦力中的至少一种。上述的擦拭装置通过检测器检测第一擦拭头抵压工件的力,调整机构可驱动检测器移动以调整第一擦拭头抵压工件的力,从而使得第一擦拭头以最优的擦拭力度擦拭工件,操作简单,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113578801 A
(43)申请公布日 2021.11.02
(21)申请号 202110766068.0
(22)申请日 2021.07.07
(71)申请人 深圳市裕展精密科技有限公司
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