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本发明公开了等离子体源领域内的一种等离子系统的点火电路结构,包括功率电路、变压器T1、变压器T2、干簧继电器KR1、电感L1、电感L2、电容C1以及整流电路;功率电路与变压器T1的主绕组连接,电容C1和电感L2的一端分别连接于变压器T1的次级绕组的两端,电容C1的另一端分别与电感L1、干簧继电器KR1的一端连接,干簧继电器KR1的另一端与变压器T2的主绕组的一端连接,变压器T2的主绕组的另一端连接于电感L2和变压器T1之间,电感L1、电感L2的另一端分别连接于整流电路,变压器T2的次级绕组与点火
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116567906 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310766706.8
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 江苏神州半导体科技有限公司
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