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本申请公开了一种单晶炉转肩拉速的控制方法、装置、设备及存储介质。其中，该方法包括：获取最优转肩设定直径拟合曲线；其中，最优转肩设定直径拟合曲线表征最优转肩设定直径与转肩设定直径变化率之间的函数关系；基于预先训练的晶体直径预测模型，获取未来时刻的晶体直径预测值和晶体直径变化率预测值；基于最优转肩设定直径拟合曲线、晶体直径预测值和晶体直径变化率预测值，获取未来时刻的最优转肩拉速；响应于确定单晶炉满足转肩工步切换条件，根据最优转肩拉速对单晶炉进行控制。通过本申请的技术方案，可以实现转肩拉速的自适应控制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116555896 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310392351.0
(22)申请日 2023.04.12
(71)申请人 浙江求是半导体设备有限公司
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