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一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具.pdf

    本实用新型公开了一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具，包括固定板和测试底板；固定板中部设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿固定板厚度方向的容纳腔；测试底板设有安装通孔，安装通孔内设有双头弹簧测试探针针头，探针一头凸出于测试底板上表面，另一头凸出于测试底板下表面，测试底板下表面的探针针头用于与测试电路板连接，所有测试底板上表面的针头位于容纳腔范围内；固定板和测试底板叠合并通过异方性导电胶膜粘合连接，异方性导电胶膜覆盖所有凸出于测试底板上表面的针头。通过本实用新型，既能保证MEMS惯性

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210036751 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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