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一种用于刻蚀机的抽气出口的闸门装置.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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一种用于刻蚀机的抽气出口的闸门装置.pdf

    本实用新型涉及一种用于刻蚀机的抽气出口的闸门装置，其特征在于，包括：多个可旋转叶片，其被配置为通过旋转调节抽气出口的开合度；以及叶片转动装置，其被配置为致使可旋转叶片转动。通过本实用新型，可以实现均匀的工艺气体抽取，从而提高刻蚀均匀性和腔体环境稳定性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210040145 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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