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晶圆载台.pdfVIP

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  • 2023-09-27 发布于四川
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晶圆载台.pdf

    本发明提供一种晶圆载台，其包含一座体、一夹具及一背压喷嘴组件。夹具设置在座体，夹具具有背向座体延伸的复数夹持元件，且夹持元件环列配置。背压喷嘴组件设置在座体且被夹持元件围绕且背压喷嘴组件配置位置不超出各夹持元件的末端。背压喷嘴组件而能够在进行制程时向夹具上的晶圆的背面喷射压力流体以平衡制程流体施于晶圆的压力而能够避免晶圆弯曲变形而破裂。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116564877 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202210106419.X (22)申请日 2022.01.28 (71)申请人 辛耘企业股份有限公司 地址 中国

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