SJ 11275-2002卧式液相外延系统通用规范.pdf

ICS 29.260L 92SJ备案号：10995—2002中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11275—2002卧式液相外延系统通用规范Generic specification for horizontal liquid phaseepitaxial system2002-10-30 发布2003-03-01实施中华人民共和国信息产业部发布 SJ/T 11275-—2002目次前言I范围1规范性引用文件2 3.术语和定义4产品型号及命名方法2技术要求5 .2试验方法6 检验规则78标志、包装、运输、贮存 SJ/T 11275--2002前言本规范是根据GB/T1.1-—2000《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》、GB/T1.3-1997《标准化工作导则第3部分：产品标准编写规定》的要求进行编写的。规范中，通用技术条件参照了SJ1794《半导体器件生产用扩散炉通用技术条件》。测试条件、测试设备及仪器、恒温区温度精度测试、单点稳定性测试,参照了SJ2065《半导体器件生产用扩散炉测试方法》。安全设计，部分参照了GB16754→1997《机械安全急停设计原则》。降温速率、降温过程恒温区温度的平坦度等技术要求，是根据液相外延设备的技术特点制定的。本规范由中国电子技术标准化研究所（CESI）归口。本规范起草单位：信息产业部电子第四十八研究所。本规范主要起草人：袁章其、刘日