改变沉积温度自支撑金刚石衬底上ZnO材料的沉积制备.doc

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目 录 摘 要 Ⅰ Abstract Ⅱ 1. 绪论 1 1.1 ZnO 材料的研究进展 1 1.2 本论文的工作重点和研究目的 2 1.3 ZnO的物理特性 3 1.3.1晶体结构 3 1.3.2压电性能 4 1.3.3光学性质 4 1.4 ZnO薄膜的表征及应用 4 1.4.1气体传感器 5 1.4.2光电子器件 5 1.4.3太阳能电池 5 1.4.4 ZnO电压力陶瓷声表面波器件 5 1.4.5 ZnO纳米材料 6 1.4.6ZnO发光二极管和激光器 6 1.4.7紫外探测器 6 1.4.8透明导电薄膜 7

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