SJ_T 31083-2016真空镀膜设备完好要求和检查评定方法.pdf

ICS 31-550L01SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T31083—2016代替SJ/T31083—1994真空镀膜设备完好要求和检查评定方法Vacuum coating equipment requirements of readiness andmethods of inspection assessment2016-01-15发布2016-06-01实施发布SJ中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T31083—2016前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准代替并废止SJ/T31083一1994《DM一450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》。本标准与SJ/T31083一1994相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：标准名称“DM一450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法”修改为“真空镀膜设备完好要求和检查评定方法”；第1章中“本标准规定了DM450型真求和检查评定方法”修改为“本标真空镀膜设备的穴准规定了真空镀膜W设备的完好要求和检查评定标用DM-450A型、DM-300B型、GDMF-30012第1章中“D-306型真空镀膜机”修改为g80-4/C型真空镀膜设备，其他型号真生能成“本标准道客可参照执行”；增加了凡范性引用文价在3.设备时间指标，增力压性能单点漏率、镀膜均匀性及极限度及批冷重复性指标，能量指标离子轰击功2年增加了在”的完好要求，删除了关于制限位装置的完好要求；特4中增加了关的完好要在B.动密的完好费求，删除了关删除了3中关于真进冷却水曾加了冷分子泵管路、真空阀及真4金计的完好要求；NOLO补充了各括按钧在3接机购在3增加了冷烧的好费?一删除寸件的完好要在3.人真空室单独接地的要求，以及真空室门、高压部件外面板中紧急停止按钮、危险源点标识好要求；T删除了3.8中关于高压电源线和高压引线连接的表述；上件旋转和烘烤温度的检查方法，修改了4.1中设备限真空度及抽气时间的检查方法，删除了、镀膜均勺性及重复性的增加了保压特的检查方法对4.2条中“评定方法的描述做本标准由中国电子技术标准化研究院本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所。本标准主要起草人：彭海涛、杨红伟、家秀云、蒋红旺、张岩、赵润、张世祖、周昭彤、严海若。本标准的历次版本发布情况为：-SJ/T31083—1994。1 SJ/T31083—2016真空镀膜设备完好要求和检查评定方法1范围本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。本标准适用于BOC700一4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。SJ/T31001—2016设备完好要求和检查评定方法编写导则SJ/T31002—2016企业设备维护保养通则3完好要求3.1主要技术指标BOC700一4/G型真空镀膜设备的主要技术指标有：a）极限真空度1×104Pa；抽气时间：由大气压抽到1×10Pa的时间应≤20min；b)保压性能：保压测试10min，真空度1×10-?Pa；c)单点漏率1×10-*Pam²/s；d)烘烤温度：室温至200℃可调；e)镀膜均匀性：工件内及工件间镀膜厚度的均匀性4%；f)镀膜批次重复性4%。g)具体设备可符合有关标准和合同（包括设备说明书）的要求。3.2操作系统设备各操作手柄、开关、按钮动作灵活，定位可靠，标识清楚。.2各仪表、指示灯、指示正常，触摸屏触摸灵敏，显示正确。3.3传动系统常温或加热情况下，各传动件均应运行平稳，动作可靠，无异常噪声、抖动、停滞等现象。.2动密封点密封性好，传动时不得有真空度跳变现象。3.4真空系统机械泵、压缩机及冷凝泵（或扩散泵、分子泵）等工作正常，无异常噪声，冷凝泵二级冷头温3.4.1度小于12K。3.4.2粗抽阀、高真空阀、再生阀、冷凝泵充气阀、真空室充气阀（包括手动阀、气动阀或电磁阀等）1 SJ/T31083—2016动作可靠、无漏气。3.4.3真空管路连接牢固，密封性好。3.4.4各真空计显示正常，示数灵敏、准确。3.5电气系统3.5.1电气系统装置齐全，功能完整；电气性能灵敏可靠；互锁完备、正确。3.5.2电气箱内部清洁，各线路布线整齐，标识齐全、清楚；各端子联接牢固、无松动；线路绝缘层无破损、老化、漏电现象。3.5.3各指示灯、按钮、开关齐全，工控机工作可靠3.6冷却系统管道整江NORMATION3.6.1冷却系统装置齐全，滴漏水现象。3.6.2冷却水清洁，无杂物。设备冷却水人压力在 0.2 MPa～0.4 MPa 范围内，3.6.3有流量传