一种实验室硅片样品的加热吹干装置.pdfVIP

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2023-08-11 发布于四川
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一种实验室硅片样品的加热吹干装置.pdf

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本实用新型通过将硅片样品置于带有通孔的转桶中，以热风机提供的热风来对硅片样品进行加热、吹风，一方面，转桶在减速马达的作用下做慢速、匀速的转动，使硅片样品能均匀受热，同时通过转桶上的通孔使空气流动将受热后蒸发的水蒸气排出转桶，保证残留水渍去除的较彻底；另一方面，转桶的通孔直径小于硅片的大小，可以保证硅片不会飞出；本实用新型的技术方案可以大大缩短实验室烘干、吹干硅片样品的时耗，提高实验室工作效率，吹干样品后随即取用，保证硅片样品的洁净度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210070446 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192