一种新型低压化学气相沉淀高真空系统.pdfVIP

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2023-08-12 发布于四川
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一种新型低压化学气相沉淀高真空系统.pdf

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本实用新型提供一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架和机台，所述机组骨架内安装螺杆式干泵，且机组骨架上端面安装罗茨泵，所述罗茨泵通过管道与螺杆式干泵相连接，且罗茨泵上安装真空管道一，所述真空管道一另一端安装压力调节阀，所述压力调节阀另一端安装快抽阀，所述快抽阀另一端安装真空管道二，所述真空管道二另一端连接冷阱出气口，且真空管道二环形侧面上安装慢抽阀，所述冷阱进气口安装抽气法兰，所述机台下端面中部位置安装U型条，且机台下侧设置集灰板，所述集灰板上端面中间位置安装条形板，与现有技术相比，本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210065917 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192