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一种干法刻蚀机进气调节装置.pdfVIP

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  • 2023-08-12 发布于四川
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一种干法刻蚀机进气调节装置.pdf

    本实用新型提供了一种干法刻蚀机进气调节装置，包括反应底座、盖设在所述反应底座顶部的反应上盖，所述反应底座的顶部开设有用以放置晶圆的反应腔室，所述反应上盖中心处开设有主进气孔，所述反应上盖沿周向开设有若干副进气孔，所述副进气孔的出气口与晶圆的边缘上下相对。副进气孔的出气口与晶圆的边缘上下相对，从副进气孔中排出的气体能够对晶圆的边缘进行处理，提升晶圆边缘与压环接触区域的蚀刻速率，使得晶圆边缘与压环接触区域不易堆积副产物，均匀性和颗粒能够达到较好效果。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219513046 U (45)授权公告日 2023.08.11 (21)申请号 202320569260.5 (22)申请日 2023.03.16 (73)专利权人 浙江优众新材料科技有限公司 地址

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