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用于工作台的平行度调节方法、系统及电子束量测设备.pdfVIP

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  • 2023-08-12 发布于四川
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用于工作台的平行度调节方法、系统及电子束量测设备.pdf

    本申请提供一种用于工作台的平行度调节方法、系统及电子束量测设备，用于工作台的平行度调节方法包括：获取工作台上的基准位置的基准坐标；获取工作台上的多个校准位置的校准坐标；将基准坐标及多个校准坐标进行圆心拟合计算，得到每个校准位置所需调整的调平目标值；根据对应的调平目标值依次对工作台的多个校准位置进行高度调整；其中，基准坐标和校准坐标均包括平面坐标和高度坐标，在每次调整校准位置时，根据当前所调整的校准位置的高度坐标和对应的调平目标值的差值对校准位置进行调整。其调平目标值使得调整单一校准位置的高度时，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116576752 A (43)申请公布日 2023.08.11 (21)申请号 202310584294.6 (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人 东方晶源微电子科

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