基于仿生组装的mems矢量水面传感器.docxVIP

基于仿生组装的mems矢量水面传感器 簇中的传感器不仅可以同时测量声压信号和振动信号，而且具有相同的带宽-光谱电子指向性。在动态测量系统中，为了提高系统的抗干扰能力和谱率，人们对仪器的测量和谱进行了大量的开发。因此，国内外研究人员越来越重视县志噪声检测。为了满足岸站建设的需要，实现远程检测和识别，低频检测能力越来越重要。与此同时，随着目标信号的减弱和高灵敏度检测的迫切需要。目前，高灵敏度传感器的主要问题是：1。应用于高灵敏度；低频检测；量化噪声源传感器的规模问题；噪声干扰等。 以上问题可以以微机电系统(micro electro mechanical system,MEMS)技术平台为依托,利用仿生学理论和压阻原理,通过开发新型传感器的仿生制造技术以及仿生微系统的集成技术得到解决. 近年来,在MEMS仿生器件研究方面,国外已有多家研究机构通过模仿鱼类侧线器官、蟋蟀的听觉纤毛等,设计并制造出了多种压电式、压阻式以及电容式的MEMS纤毛仿生微传感器,如德国的Nesterov 和Brand于2005年研制出了压阻式MEMS仿生微探测器,美国伊利诺斯州立大学微米纳米技术研究中心的Chen等于2006年通过模仿鱼类的侧线器官工作原理,研制出了纤毛式MEMS仿生微流量传感器.荷兰的Krijnen等在2006年通过模仿蟋蟀的听觉纤毛,制作出了纤毛式仿生微声传感器. 然而,国内关于纤毛式仿生MEMS传感器的研究还比较少,而且国外的纤毛仿生传感器也主要为微触觉传感器或微流量传感器,关于纤毛式的仿生MEMS水声传感器还未见报道.基于此,笔者通过模仿鱼类侧线器官的神经丘感觉器,完成了以压敏电阻为敏感单元的水声传感器仿生组装设计.利用新型精巧的仿生结构和压阻敏感机理设计制作新型的矢量水声传感器;利用MEMS批量制造技术,实现矢量水声传感器的小型化和一致性;结合MEMS工艺和组装工艺技术,解决复杂结构的仿生制造问题.期望在矢量水声传感器的低频特性、灵敏度、小尺寸以及水声传感器的一致性等方面带来好处,为水声传感器的设计提供一种新方法. 1 基本理论 1.1 鱼类嘴唇下的感悟传导途径 高度特化的皮肤感觉器官-侧线器官,是水生两栖动物及鱼类所特有的听觉器官.侧线呈沟状或管状,鱼类身体两侧一般各有1条侧线,少数鱼类每侧有2条或更多条.侧线主管形成很多小管分支至体外开孔,在体侧即形成侧线,在两分支小管之间,每一段主管管壁上分布有呈节状的神经丘感觉器(如图1所示),这些神经丘感觉器浸润在充满黏液的侧线管内. 神经丘是皮肤感觉器官的基本单位,由几个感觉细胞和一些支撑细胞组成.感觉细胞低于四周的支持细胞.每一感觉细胞上都有1根粗而长的动毛和数根细而短的不动毛.支持细胞的分泌物在感觉器外表凝结成一长的胶质顶,即感觉顶,感觉纤毛则被包藏在顶的内部.侧线器官的管壁上由带纤毛的感觉细胞和支撑细胞组成,感觉细胞主要起触觉感受器和振动感受器的作用.感觉细胞上的神经末稍通过侧线神经而联接于延脑发出的迷走神经. 神经丘浸润在黏液中,不论是水内还是水外的声波、振动波等外力作用于水,都可使水的压力产生变化,这种压力通过侧线孔进入管内,传递于黏液,引起黏液流动;再由黏液传递到神经丘,引起感觉顶发生偏斜,通过感觉顶内的黏液流动,使得可动纤毛也发生偏斜,从而使感觉细胞获得刺激;刺激通过感觉神经纤维,经侧线神经传递到延脑.这就是鱼类侧线器官的感觉传导途径,如图2所示. 鱼类侧线器官的主要作用是:①确定方位;②感觉水流;③感受低频率声波;④辅助趋流性定向.它可以感知水压大小、水流速度、水流方向、水中物体的位置和其他各种变化,还能感受水下低频声波.鱼类在捕食、逃避敌害与求偶产卵活动中,都有赖于侧线对振动的感觉作用.鱼类侧线这一特殊听觉器官为设计具有定向性的水声传感器提供了原型. 1.2 水平面的夹角 由声学理论可知,平面波声压可表示为 p(r,t)=p0ej(kr-wt)= p0exp[j(kxcosαcosθ+kycosαsinθ+kzsinα-wt)] (1) 式中:p0为声压幅值;r为柱形矢量水声传感器的外壳半径;t为时间;k为波矢量,表示声波传播的方向;α为k与水平面的夹角,取值范围为[-π/2?π/2][?π/2?π/2];θ为k在水平面内的投影与x轴的夹角,取值范围为[0,2π];k为波矢量k的值,k=ω/c,ω为声波的角频率,c为介质的声速. 在均匀介质中,声场的运动方程为 ?v?t+1ρ0?p=0(2) 式中v为质点振速. 将式(2)代入式(1),得 ˉv=p0ρ0c(ξcosθcosα+ηsinθcosα+τsinα)(3) 式中ξ、η、τ是x、y和z轴上的单位矢量.式(3)表明,平面波的声压与质点振速3分量之间仅差一个常数,两者的波形是一样的,因而对平面波来说,声