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semssh在pcb制程控制中的应用 1 号传输特性分析 近年来，大型半音乐芯技术迅速发展，电子设备朝着轻量化、小型化和多功能化的方向发展，于是pc的加工水平提高。产品对pc导线覆盖的完整性和信号传输特性有更高的要求。可靠性分析是验证制造技术和质量的必要条件。 SEMEDS(扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱方法)分析法以其先进的分析理念和高效准确的分析过程,已经被各个行业所应用。我国在1958年成功地研制了第一台电子显微镜,SEM的景深大,放大倍率连续可变,适用于研究微小物体的立体形态和表面的微观结构;EDS可测元素范围大,且对分析物不造成损伤。 以下将从原理和应用实例等方面对SEMEDS在PCB的制程控制中的应用做简单介绍。 2 定性、定量分析 SEMEDS组合是应用最广的显微分析仪器,它能快速、同时对各种试样的微区内的所有元素进行定性、定量分析。SEMEDS在定性、定量分析时,是利用束径(10~1)μm范围的高能电子束,激发出试样μm范围的各种信息,进行成份、形貌等分析。成分分析的空间分辨率在立方μm范围,微区分析是其重要特点之一,它能将微区化学成份与显微结构对应起来,是一种显微结构的分析。 2.1 x-辐射能谱分析sd的原理 2.1.1 原子序数l的变化 特征X-射线的产生是入射电子使内层壳电子激发而发生的现象。当内层电子被轰击后跳到比费米能级高的能级上,电子轨道内出现的