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本实用新型提供了振动传感器和音频设备,振动传感器包括带侧壁的腔体、安装于所述侧壁的弹性膜及具有背腔的MEMS芯片,所述MEMS芯片收容于所述腔体内并安装于弹性膜上,所述侧壁包括与所述弹性膜贴合的侧面,所述侧面向远离所述MEMS芯片方向凹陷形成凹腔,所述弹性膜覆盖所述凹腔且所述弹性膜上开设有通孔,所述通孔连通所述凹腔与所述MEMS芯片的背腔。本实用新型振动传感器高度小且灵敏度高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210093551 U
(45)授权公告日
2020.02.18
(21)申请号 20192
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