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本发明公开一种半导体生产设备数据的处理方法，包括以下步骤：上传步骤：步骤A1：将生产设备运行过程中产生的数据按照每一类属性数据对应一个标签，并将每一个标签对应的数据内容存储为一个csv文件；步骤A2：将每一个csv文件赋予一个唯一识别码，各个csv文件之间通过唯一识别码进行关联；步骤A3：将步骤A2处理后所有csv文件作为待解析文件，上传到待解析目录；解析加载步骤：步骤B1：使用Loader程序按照预定间隔时间扫描待解析目录；步骤B2：历遍待解析目录中所有待解析文件，使用BrockerLoade
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116594623 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310478470.8
(22)申请日 2023.04.28
(71)申请人 上海哥瑞利软件股份有限公司
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