X射线智能检测装备行业深度分析报告:现状趋势、下游市场、竞争格局、机遇挑战.docxVIP

X射线智能检测装备行业深度分析报告:现状趋势、下游市场、竞争格局、机遇挑战.docx

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X射线智能检测装备行业深度分析报告 (现状趋势、下游市场、竞争格局、机遇挑战) 2023年3月 目 录 TOC \o 1-2 \h \u 19710 一、X射线源概述 3 29630 1.X射线、X射线源及其工作原理 3 25682 2.我国X射线源面临供应不足的困境 5 19339 二、X射线智能检测装备行业概况 5 29869 1.X射线智能检测设备主要应用领域 5 32725 2.X射线检测设备下游市场前景可观 7 8680 三、行业近三年的发展情况与未来趋势 17 11132 1.近三年发展情况 17 20491 2、行业未来发展趋势 18 11374 四、行业发展面临的机遇和挑战 19 20292 1、机遇 19 15408 2、挑战 21 15571 五、行业内主要企业 21 19880 1、X射线智能检测装备领域主要企业 22 26652 2、X射线源领域主要企业 22 25180 3、行业内主要企业基本情况 23 一、X射线源概述 1.X射线、X射线源及其工作原理 X射线(又称伦琴射线、X-Ray)是1895年德国物理学家伦琴在研究阴极射线时发现的一种射线,系高速运动的电子在与物质相互作用中产生的。在X射线管中,从阴极发射的电子,经阴极、阳极间的电场加速后,轰击X射线阳极靶,将其动能传递给靶上的原子,其中约有1%左右的能量转化为X射线,并从X射线照射窗中射出。X射线源阴极发射的电子被聚焦到靶上的一个点,称之为焦点,焦点的尺寸越小,则检测精度越高。因X射线能量高、穿透力强等特点广泛应用于医疗健康和工业影像检测等领域。 X射线源(又称X射线发生器)是X射线智能检测设备的核心部件。X射线源的研发涉及电子透镜(包括阴极、阳极、栅极)材料研究、电磁场数学模型研究、电真空物理参数研究、高压系统控制、电磁干扰控制以及热管理系统开发等关键研究工作。 图示:X射线真空管结构示意 X射线检测作为工业影像检测的重要方法之一被广泛应用,其核心部件X射线发射源的焦点尺寸决定了检测精度,即焦点尺寸越小,检测精度越高。在集成电路、电子制造、新能源电池等精密制造领域,为满足高精度检测要求,须配置微米级、纳米级焦点尺寸X射线源,即微焦点X射线源。 根据密封方式的不同,微焦点X射线管分为开放式(开管)和封闭式(闭管)两种。闭管X射线源中,阴极与阳极/靶都封闭在真空管内。在使用时无需抽真空,闭管方式的X射线管高压一般在30kV-150kV之间,靶功率可以做到75W,使用生命周期在3年左右,常用于集成电路及电子制造、新能源电池等精密检测等领域;开管则带有真空泵、真空阀,开管的阴极和阳极/靶都可以更换。开放式的X射线管高压一般在30-225kV之间,靶功率可以做到25W。开管精度高,零部件可以更换,但初期设备购置成本高,多用于要求较高的科研领域或集成电路领域。 闭管式热阴极微焦点射线源与开管微焦点射线源在应用领域、焦点尺寸、最大管电压、真空系统、电子发射形式、维护成本与使用寿命、集成形式、启动时间、性价比等的对比情况如下: 项目 封闭式热阴极微焦点射线源 开管式微焦点射线源 应用领域 集成电路封装、电子制造、新能源电池检测 集成电路晶圆检测 焦点尺寸 3-80μm 0.1-3μm 最大管电压 ≤180kV ≤300kV 真空系统 保持真空密封 配备独立的真空泵,每次使用前需抽真空 电子发射形式 一般反射型 透射型 维护成本与使用寿命 无需维护,寿命可达5,000-8,000小时 维护频率约500小时,维护成本较高 集成形式 一体集成式 分离式 启动时间 约10分钟,在预热后即可发生射线 40分钟,需要使用真空泵对X射线管进行抽真空 性价比 较高 较低,价格在封闭管的五倍以上 由上表所述,开管式微焦点射线源具有焦点尺寸更小、最大管电压更高的特点,具备更高的放大倍率和更强的穿透力,但同时在性价比、维护成本、使用寿命和启动时间等方面具有一定的劣势。目前,闭管式微焦点射线源仍然是集成电路、电子制造、新能源电池等精密X射线检测领域的主要选择。 工业X射线检测原理示意图如下: 2.我国X射线源面临供应不足的困境 受限于国内技术和制造水平不足,我国工业影像检测的微焦点X射线源几乎全部依赖进口,而用量最大的闭管微焦点射线源产品及核心技术主要掌握在日本滨松光子和美国赛默飞世尔两家企业手中。随着我国精密检测设备需求的不断提升,关键核心部件供给不足的问题日益凸显,特别是随着下游集成电路及电子制造、新能源电池产业的发展,下游面临“一源难求”的困境,严重影响了下游相关产业的产品质量检测水平。 二、X射线智能检测装备行业概况 1.X射线智能检测设备主要应用领域 X射线智能检测技术是原子物理学、真空物理学、

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