一种显影液流速控制装置和方法.pdfVIP

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2023-08-16 发布于四川
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一种显影液流速控制装置和方法.pdf

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本发明提供了一种显影液流速控制装置和方法，显影液流速控制装置包括：显影液管路，包括并行设置的第一通道和第二通道，第一通道和第二通道之间连通有内径不同的流速调节通道，流速调节通道朝向第二通道的开口为第一开口；多个通断机构，每个第一开口对应一个通断机构，通断机构包括：壳体，设有活塞运动通道以及连通活塞运动通道至少一侧的导气管路；活塞组件，在活塞运动通道内轴向滑动，活塞组件与第一开口匹配；顶针组件，设于活塞组件远离第一开口的一侧，顶针组件在活塞运动通道内轴向滑动并对活塞组件进行限位。本发明解决了显影液

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116594266 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202310606182.6 (22)申请日 2023.05.26 (71)申请人宁波润华全芯微电子设备有限公司地