一种聚醚醚酮材料用化学机械抛光液.pdfVIP

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2023-08-16 发布于四川
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一种聚醚醚酮材料用化学机械抛光液.pdf

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本发明为一种聚醚醚酮材料用化学机械抛光液，所述抛光液的各组分的重量百分比是：二氧化硅磨料5‑15％；2‑10％缓冲剂；0.01‑0.1％表面活性剂；0.01‑0.1％抑制剂；余量水；所述缓冲剂为有机酸和相应的有机酸盐；体系pH值为2‑5；所述抑制剂为分子量在100‑700之间亚胺类长链有机化合物。本发明不需要加入氧化剂，通过缓冲剂、抑制剂、磨料及表面活性剂利用化学和机械两种方法的协同作用，对PEEK表面进行抛光，使得PEEK的表面粗糙度较低，抛光后表面粗糙度小于10nm，进而达到达到航空航天、人

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115537123 A (43)申请公布日 2022.12.30 (21)申请号 202211397075.9 (22)申请日 2022.11.09 (71)申请人博力思（天津）电子科技有限公司地址