一种长钼管靶材的制备方法.pdfVIP

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2023-08-16 发布于四川
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一种长钼管靶材的制备方法.pdf

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本发明公开了一种长钼管靶材的制备方法，该制备方法先选取适量的钼粉进行胶套装粉，然后冷等静压成型，得到坯体；在氢气保护气氛下对坯体进行烧结，得到烧结坯；将烧结坯进行锻造加工，得到尺寸均匀的钼管靶坯；对钼管靶坯进行磨削机加工；将多个钼管靶坯通过摩擦焊焊接成整根管靶；对焊接后的钼管靶进行磨削机加工，获得最终的长尺寸钼管靶。该方法制备方法制备的长钼管靶材纯度、相对密度、晶粒度均满足高世代TFT‑LCD显示领域及CIGS太阳能电池等领域的使用需求，且生产成本低，产品尺寸宽泛。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116590672 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202211661842.2 (22)申请日 2022.12.23 (71)申请人丰联科光电（洛阳）股份有限公司