氧化铟基透明导电薄膜的研究进展.docxVIP

? ? 氧化铟基透明导电薄膜的研究进展 ? ? 林剑荣,杜永权,梁瑞斌,陈建文,肖鹏* （1.佛山科学技术学院物理与光电工程学院，粤港澳智能微纳光电技术联合实验室，广东 佛山 528000；2.佛山科学技术学院电子信息工程学院，广东 佛山 528000） 透明导电氧化物（transparent conductive oxide，TCO）薄膜是指在可见光（380—780 nm）范围内具有高透过率，同时又能导电的氧化物薄膜。由于其兼具透明和导电的特性，被广泛应用于各种领域中，包括传感器、太阳能电池、发光二极管、光电探测器和平板显示器等［1-5］。早在1907 年Badeker［6］报道了关于氧化镉（CdO）薄膜，这是最早关于TCO 薄膜的研究报道。随后，科研工作兴起了对TCO 薄膜的研究热潮。关于TCO 薄膜［7］，一般指带隙宽度大于3 eV，可见光范围内的平均透射率大于80%及电阻率低于1×10-3Ω?cm 的薄膜。当薄膜材料的带隙较宽时，透明度会提高，但其导电性会降低，为了实现良好的导电性能，需要提高载流子浓度从而降低电阻率，通常采用掺杂的方法来调节材料的载流子浓度以改善其导电性。例如锡（Sn）掺杂氧化铟（In2O3）的TCO 薄膜（ITO），其电阻率可低至1×10?4Ω?cm，可见光平均透射率可达到85%以上［1］。目前，研究与 应 用 较 为 成 熟 的TCO 包 括C