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一种碳化硅生长设备的两用真空系统.pdfVIP

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  • 2023-08-17 发布于四川
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一种碳化硅生长设备的两用真空系统.pdf

    本实用新型公开了一种碳化硅生长设备的两用真空系统，包括腔体、机械泵和干式真空泵，腔体连通的管道上安装有一个机械泵，干式真空泵的输入端连通两个真空管，两个真空管均连通在腔体上，其中一个真空管上还安装有分子泵和第二电磁式高真空阀门，分子泵连通在干式真空泵和第二电磁式高真空阀门之间，腔体还连通有气体管，气体管上安装有第一电磁式高真空阀门，腔体内还安装有检测装置；本实用新型的两用真空系统通过检测装置检测腔体中的气体含量、温度和压力，并通过控制箱分析后，相应的按比例调节腔体内的真空环境，可以精确的控制腔体

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210117455 U (45)授权公告日 2020.02.28 (21)申请号 20192

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