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2023-08-19 发布于四川
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本公开的各实施例总体上涉及微电子机械设备。一种PMUT声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有表面并且容纳第一埋腔，第一埋腔多个具有环形形状，彼此同心布置，并且从本体的表面延伸一定距离。第一埋腔从由本体形成的多个第一膜下方界定，使得每个第一膜在多个第一埋腔中的相应第一埋腔与本体的表面之间延伸。多个压电元件在本体的表面上延伸，每个压电元件在多个第一膜中的相应第一膜的上方延伸。第一膜的宽度不同，该宽度在最小值到最大值之间可变。本实用新型的实施例例如提供了具有高检测精度和快速响应的多频声换能器。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219540856 U (45)授权公告日 2023.08.18 (21)申请号 202222817048.4 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2022.10.25