原创力文档- 3
- 0
- 约1.5万字
- 约 16页
- 2023-08-19 发布于四川
-
正版发售
- 现行
- 正在执行有效期
- | 2023-08-06 颁布
- | 2023-12-01 实施
- 1、本标准文档 共16页，仅提供部分内容试读。
- 2、本网站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
- 3、本网站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
- 4、标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题
查看更多
ICS31.200
CCSL59
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT42896 2023
微机电系统( )技术
MEMS
硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
( ) —
Micro-electromechanicalsstemsMEMS technolo
y gy
Im acttestmethodfornanostructuresofsiliconbasedMEMS
p
2023-08-06发布 2023-12-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
/ —
GBT42896 2023
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 要求 ……………………………………………………………………………………………………… 2
5 试验方法 ………………………………………………………………………………………………… 4
( ) ………………………………………………………
附录 资料性 原位片上冲击试验机尺寸建议
A 6
( ) …………………………………
附录 资料性 原位片上热驱动纳尺度结构冲击试验机测试实例
B 7
Ⅰ
/ —
GBT42896 2023
前 言
/ — 《 :
您可能关注的文档
- GB/T 24582-2023多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 24582-2023多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法.pdf
- 《GB/T 24582-2023多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法》.pdf
- GB/T 34213-2023蓝宝石单晶用高纯氧化铝.pdf
- 中国国家标准 GB/T 34213-2023蓝宝石单晶用高纯氧化铝.pdf
- 《GB/T 34213-2023蓝宝石单晶用高纯氧化铝》.pdf
- GB/T 42676-2023半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 42676-2023半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法.pdf
- 《GB/T 42676-2023半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》.pdf
- GB/T 42907-2023硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法.pdf
- GB/T 42895-2023微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 42895-2023微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法.pdf
- 《GB/T 42895-2023微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法》.pdf
- GB/T 42861-2023鼓包型抽芯铆钉通用规范.pdf
- 中国国家标准 GB/T 42861-2023鼓包型抽芯铆钉通用规范.pdf
- 《GB/T 42861-2023鼓包型抽芯铆钉通用规范》.pdf
- GB/T 42867-2023煤矿预排水综合利用技术导则.pdf
- 中国国家标准 GB/T 42867-2023煤矿预排水综合利用技术导则.pdf
- 《GB/T 42867-2023煤矿预排水综合利用技术导则》.pdf
- GB/T 42859-2023航天产品质量问题三个面向分析方法实施要求.pdf
文档评论（0）