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本发明公开一种提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，涉及高功率微波与等离子体的耦合调节装置技术领域，且包括：波导管装置，内形成有波导通孔，波导管装置两端分别为输入端和辐射端，输入端适于与连通至ECR离子源的微波输入导管相连通，辐射端被配置为非对称切口结构而将自ECR离子源输至波导通孔的微波以预设角度馈入到ECR等离子体内，且辐射端适于相对于ECR等离子体移动而调节微波馈入位置。在本发明中，波导管装置能够直接馈入微波至ECR等离子体，辐射端为非对称切口结构可实现微波功率沿特定方向、以特定角度辐射
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116613051 A
(43)申请公布日 2023.08.18
(21)申请号 202310551347.4
(22)申请日 2023.05.16
(71)申请人 中国科学院近代物理研究所
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