台面间区域深度变化的衬底支撑件和温度依赖性制造方法.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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台面间区域深度变化的衬底支撑件和温度依赖性制造方法.pdf

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本发明涉及台面间区域深度变化的衬底支撑件和温度依赖性制造方法。一种方法被提供并且包括：确定在整个衬底或衬底支撑件的支撑板上的温度分布图案；基于温度分布图案确定施加于支撑板的顶表面的掩模数，其中掩模数大于或等于2；以及基于所述温度分布图案确定所述掩模的图案；并将掩模施加在顶表面上。该方法还包括：执行第一加工处理以去除支撑板的未被掩模保护的一部分，以形成第一台面和在第一台面之间的第一凹陷区域；从支撑板去除第一掩模；执行第二加工处理以形成第二凹陷区域和第二台面或第一密封带区域中的至少一个；并从支撑板去

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108335993 A (43)申请公布日 2018.07.27 (21)申请号 20171