原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提出了一种低真空痕量气体的快速无损采样分析装置和方法，该装置包括真空获得模块、采样模块、气体分析模块和控制模块。其中真空获得模块包括二级真空腔室、真空泵组和隔断阀。采样模块包括工艺腔室、连接法兰、采样细管、截止阀、微孔法兰、二级真空腔室和电离单元的微孔。气体分析模块包括总压监测器、电离单元、质量分析器和探测器等。本发明装置解决了低真空气体采样分析过程中出现的质量歧视效应，真正做到了无损采样，测试结果准确；半封闭式电离单元可保持更高压力，提高了采样量；降低了采样时二级真空腔室的本底，降低了采
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111665103 A
(43)申请公布日
2020.09.15
(21)申请号 20201
文档评论（0）