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本发明提供一种微小构造体移载用压印部件,其特征在于,在基板上形成有有机硅系橡胶膜,与所述基板为相反侧的所述有机硅系橡胶膜表面具有一个以上的封闭凹部,该封闭凹部在表面开口部以外封闭。由此,可提供一种能够在短时间内优化有机硅系橡胶膜压印表面的临时粘接力的微小构造体移载用压印部件。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116615798 A
(43)申请公布日 2023.08.18
(21)申请号 202180084291.5 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限
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