一种用于镀膜机的封闭式上下片系统.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种用于镀膜机的封闭式上下片系统.pdf

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本发明涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置；基片移载机构和夹具移载机构均位于承接机构的上方，壳体上设有入料口和出料口，上料机构位于入料口处，出料机构位于出料口处。封闭式

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107539777 A (43)申请公布日 2018.01.05 (21)申请号 20171