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本实用新型公开一种氮气回收装置，包括：炉体、挥发物收集构件、有机过滤构件、回收氮气控制阀、第一氧气含量侦测构件、氮气混合推进器、控制构件、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路以及第五管路，回收氮气控制阀及第一氧气含量侦测构件设置于第三管路，控制构件信号连接回收氮气控制阀及第一氧气含量侦测构件，控制构件依据第一氧气含量侦测构件的侦测结果控制回收氮气控制阀。本实用新型的氮气回收装置可有效回收制程废气并过滤、重新投入制程中，以减少制程的新鲜氮气使用量。兼顾制程的氮气纯度要求，在质量与成本之间获得良好
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210140436 U
(45)授权公告日
2020.03.13
(21)申请号 20192
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