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一种基于LaAlO3/KTaO3界面二维电子气的非线性霍尔器件及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-08-19 发布于四川
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一种基于LaAlO3/KTaO3界面二维电子气的非线性霍尔器件及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种基于LaAlO3/KTaO3界面二维电子气的非线性霍尔器件及其制备方法。该器件由LaAlO3/KTaO3薄膜异质结和光刻胶组成。在旋涂一层光刻胶并且经过图案化曝光和显影后，KTaO3衬底被分为覆盖区和非覆盖区。在衬底的非覆盖区上通过脉冲激光沉积生长非晶LaAlO3(LAO)，在非覆盖区产生氧化物界面二维电子气，实现导电区和绝缘区的分离，得到霍尔器件形状的LAO/KTO导电界面。本发明器件适合低温工作，其利用该界面的非线性霍尔效应，成功在垂直于电流方向上出现非线性霍尔电压，实现倍频

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116615090 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310622523.9 (22)申请日 2023.05.30 (71)申请人 上

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