电池片制绒工序简介.ppt

电池片制绒工序简介 2目录1.生产太阳电池基本流程2.制绒的原理3.制绒工序流程图4.设备构造5.生产准备6.制绒的生产流程7.注意事项 生产太阳能电池基本流程前清洗（制绒）扩散PECVD SiNx 后清洗（刻边/去PSG） 丝网印刷背电场 丝网印刷正电极烧结测试分档 丝网印刷背电极退火 太阳电池就是将太阳能转化为电能的半导体器件 利用单晶硅的各向异性，采用化腐工艺在100硅片上制作的绒面，以减少入射光反射、提高短路电流和转换效率。 采用两步法制作绒面，先用高浓度碱液、较高温度下进行短时间“粗抛”，再在低浓度、低温度下进行长时间“细腐”。此法所制绒面，在晶相显微镜下观察，小金字塔排列规则、整齐、均匀，可使入射光的反射损失降低近10％。 2NaOH+H2O+Si Na2SiO3+2H2。 原始硅片表面阳光吸收制绒后阳光吸收图制绒后硅片表面显微图象制绒的原理 设备的基本构造5自动制片机制绒机 生产准备6 操作人员进入车间必须穿戴无尘服，无尘鞋，无尘帽，口罩遮住鼻梁，戴双层手套,头发全部放进帽子里，并且必须由风淋门进入。 制绒的生产流程7下料 统计数据挑碎片、返工片来料来料确认测试减薄量上料满批次合格品下传数据统计填写流程单刻蚀工序确认双方签字确认合格不合格 制绒的生产流程8拆片1、来料硅片托盘2、拆开纸箱取出泡沫盒3、拆开泡沫盒4、抽出瓦楞板和隔垫5、拆开外层包装袋6、抽出隔纸后放入承载盒拆片时注意事项： 1.拆硅片托盘时，首先确认好外箱是否完好，以及核对数量； 2.拿取硅片时注意力度，做到轻拿轻放； 3.使用刀片拆泡沫盒外层胶带时，注意刀片深度，避免划伤硅片； 4.硅片放入承载盒时，必须保持整齐且平行放入，避免碰撞承载盒造成崩边或碎片。7、放置在机台边区域内 制绒的生产流程9自动制片机上下花篮1、放承载盒至轨道2、上层放置空花篮3、下层收取满花篮4、花篮放置于推车上上片时注意事项： 1.拿取承载盒时注意力度，做到轻拿轻放； 2.放置、拿取花篮时要做到轻拿轻放，并注意花篮小孔方向朝上； 3.拿取满蓝花篮时检查花篮内品质，查看有无碎片、崩边、缺角片； 4.过程中发现异常报警或碎片时，及时通知工序长和设备人员处理。 制绒的生产流程10制绒机上下花篮1、将花篮放至轨道上2、放四个花篮后，点压按钮进片3、下料台按压按钮出蓝4、翻转花篮检查片子质量上下花篮时注意事项： 1.放取花篮时注意力度，做到轻拿轻放； 2.拿取花篮时禁止手指接触硅片造成污染； 3.下料机翻转花篮时，注意旋转方向，避免掉片、碎片； 4.花篮放入推车时，必须轻推轻放。5、把花篮放入推车中 待石英舟冷却后，用镊子从炉口、炉中、炉尾取10片, 到四探针测试仪上测试方块电阻，并进行记录，方块电阻的范围为76.5±1.15 Ω，如果不在范围立刻通知工艺人员。测试方阻的注意事项： 1.取片放片要轻拿轻放； 2.填写流程单要数据准确，禁止弄虚作假。测片11扩散的生产流程 送片注意事项: 1.送片前要再次确认流程单数量和实物数量是否一致，有问题及时反馈； 2.推车时注意速度，约1秒1步，避免速度过快导致片子碰撞造成崩边或隐裂； 3.要及时送回扩散工序的空花篮，便于制绒工序的有序生产。送片12扩散的生产流程 花斑分类 白斑、反片、亮面、小雨点，白油斑、黑油斑、脏片（手印、擦片）、水痕、暗斑、白圈。花斑人员原料硅片污染酒精污染手工制绒操作失误用手拿片导致手印或脏片分片导致反片装片导致错齿片设备制绒工艺工艺失调导致批量不良漂片导致错齿大雨点清洗不净导致后续出现花斑设备漏油滴源漏浆PECVD工艺刻蚀工艺PSG清洗不净烘干不彻底工艺异常刻蚀第一片导致白圈异常片烧焦片镀膜失败片PECVD倒片用吸盘脏制绒不良异常现象分析 常见的小白斑制绒后脏片导致暗斑漂片或者装片错齿导致的大雨点生产人员装片失误导致的反片齿痕水圈制绒发白花斑片图集 灰色水痕状脏片白色半圆形干水圈清洗不净导致的水痕状脏片花斑片图集 制绒原料问题或者烧焦片下传会导致小白点SD角部原料白斑花斑片图集 白斑产生原因： 制绒时出现异常，导致的发白； 原料问题导致的白斑； 超净的烧焦片产生的白斑； PECVD镀膜失败产生的云状发白；反片产生原因： 制绒分片出错； 超净刀片出错；小雨点产生原因： 制绒时间长，后期溶液内酒精量少； 工艺配比不适合； 溶液使用次数多表面张力过大；水痕产生原因： 制绒，超净，刻蚀的清洗出现异常； 原料片脏导