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- 2023-08-23 发布于上海
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以蓝宝石为衬底外延生长的氮化镓基膜材料的电子显微学研究的中期报告
本研究旨在探究以蓝宝石为衬底外延生长的氮化镓基膜材料的电子显微学特征。截至目前,我们已经完成了材料的制备和生长,在SEM和TEM等多种电子显微镜下对材料进行了观测和分析。具体研究进展如下:
1. SEM观察:我们通过扫描电子显微镜对样品表面不同区域进行观察。发现样品表面晶体纹理清晰,平整光滑。同时,出现了部分三角形棱镜形貌的结构,这一现象与预期吻合。
2. TEM观察:我们使用透射电子显微镜对部分氮化镓基膜样品进行了观察。结果显示,样品中晶体缺陷较少,缺陷密度低。同时发现在样品表面形成了相对于基底具有不同晶面取向的纤维状晶体生长。
3. 显微分析:我们发现样品中存在一定的晶格畸变,同时,通过高分辨透射电镜确定了晶格内部结构,结果与先前预计的完全一致。
目前,本研究正在进一步深入探究材料的晶格畸变和内部结构,同时对材料表面三角形棱镜结构形成机理进行调查。我们相信这项研究将有助于对新型氮化镓材料的电子性质及其可能应用潜力的更加深入的理解。
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