原创力文档- 2
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- 2023-08-23 发布于四川
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本发明提供成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法，在一边利用磁力使基板承载件以悬浮的状态搬送一边进行成膜的成膜装置中，抑制因重量的变化引起的基板承载件的搬送高度的变化。该成膜装置是一边搬送基板一边进行成膜的直列型的成膜装置，具备：基板承载件，保持所述基板；磁力产生部件，产生用于使所述基板承载件磁悬浮的磁力；以及位置变更部件，变更所述磁力产生部件的铅垂方向的位置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116623146 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310140930.6 C23C 14/50 (2006.01)
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