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- 2023-08-23 发布于四川
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本发明提供一种感光性干膜，其由化学放大型正型感光性组合物构成，能够抑制由所含有的树脂引起的乳浊和分离，且能够抑制在加热而去除溶剂时产生的气泡的残留。由化学放大型正型感光性组合物构成的感光性干膜包含：产酸剂(A)；树脂(B)，对碱的溶解性因酸的作用而增大；有机溶剂(S)，树脂(B)包含丙烯酸树脂(B3)，丙烯酸树脂(B3)包含结构单元(B3a)，结构单元(B3a)源自包含酸非解离性的含脂环式烃基基团的(甲基)丙烯酸酯，有机溶剂(S)包含满足条件I)及II)的高沸点有机溶剂(S1)。I)在大气压下的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116635788 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202180087325.6 (74)专利代理机构 上海立群专利代理事务所
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