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- 2023-08-23 发布于四川
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本发明涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种识别划片槽掩模版图中标记图形的方法和计算机设备。识别划片槽掩模版图中标记图形的方法，包括：获取预定标记图形的预定特征点；预测预定标记图形的预定边界框；获取与预定标记图形对应的实际标记图形；提取实际特征点；根据实际特征点预测实际标记图形的实际边界框；确定实际边界框与经过矩阵变换后的预定边界框是否一致；当边界框一致时，确定实际特征点与经过矩阵变换后的预定特征点是一致；当特征点一致时，确定实际标记图形正确。通过边界框粗比对和逐个特征点精比对相结合的手段，能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111222300 A
(43)申请公布日
2020.06.02
(21)申请号 20201
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