原创力文档- 1
- 0
- 约1.81万字
- 约 19页
- 2023-08-23 发布于四川
- 举报
本发明涉及基板保持装置以及基板处理系统。在基板保持部(2)中，保持销(15)具备头(31)、轴杆(33)以及头用螺纹件(43)。头(31)配置在顶罩(13A)的上表面侧。头(31)在与顶罩(13A)的上表面对置的头(31)的下表面形成有底的螺纹孔(31D)。轴杆(33)与螺纹孔(31D)同芯地配置并贯通板状部件，并且上端与头(31)相接。轴杆(33)具有从下端铅垂地延伸至上端的第一贯通孔(33A)。头用螺纹件(43)从轴杆(33)的下端侧插入到轴杆(33)的第一贯通孔(33A)。另外，头用螺纹件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116631934 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310138390.8
(22)申请日 2023.02.20
(30)优先权数据
2022-024822 202
文档评论（0）