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- 2023-08-23 发布于四川
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振动器件以及振动器件的制造方法，抑制大型化并且具有优异的气体吸附性。振动器件具有：硅的基座，其具有处于正反关系的第一面和第二面；振动元件，其被配置于所述第一面；硅的盖，其被配置于所述第一面侧，具有与所述第一面面对的第三面和朝所述第三面开口的有底的凹部，所述第三面与所述第一面接合；以及吸气层，其被配置于所述凹部的底面，具有气体吸附性，所述凹部的底面的表面粗糙度Ra大于所述第三面的表面粗糙度Ra。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116633306 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310141365.5
(22)申请日 2023.02.21
(30)优先权数据
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