原创力文档- 4
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- 2023-08-23 发布于四川
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本实用新型提供了一种化学气相沉积炉，包括：炉体，具有反应腔，反应腔具有弧形内壁；进气装置，包括进气管路和进气部，进气管路的一端具有出气口，出气口和反应腔的底部连通，进气部和进气管路的另一端连通，出气口的方向朝向弧形内壁；进料装置，进料装置和进气管路连通，进气部用于将粉体材料吹入反应腔的底部；排气装置，包括气固分离器和排气部，排气部和反应腔的顶部连通，气固分离器位于排气部的进气口处，排气部用于排出气固分离器分离完成后的气体；出料装置，出料装置和反应腔的底部连通，出料装置用于收集气固分离器分离完成后
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219568049 U
(45)授权公告日 2023.08.22
(21)申请号 202320097104.3
(22)申请日 2023.02.01
(73)专利权人 北京蒙京石墨新材料科技研究院
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