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- 2023-08-23 发布于四川
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提供了辅助半导体样品上的缺陷检测的系统和方法。所述方法包括：获得提供管芯上的要检查的多个关注区域(CA)的信息的第一图；创建包围多个CA的多个边界矩形(BR)；以及将多个BR压缩为压缩矩形集合以满足预定义的检查容量，同时尝试最小化由压缩矩形集合包围的非CA区域，从而产生提供压缩矩形集合的信息的第二图。所述压缩包括构造表示多个BR和压缩矩形的R树结构，并且基于预定义的检查容量从R树结构中选择节点集合，所述节点集合表示压缩矩形集合。所述第二图可用于过滤指示管芯上的缺陷候选分布的缺陷图。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116631886 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310032591.X G06T 7/00 (2017.01)
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